上市公司富滿微在投資者互動平臺回復提問時表示，公司5G射頻芯片已經開始批量供貨，主要客戶包括國內主流手機及ODM廠商，其5G射頻芯片（含濾波器）完全基於自主開發，具有完整的自主知識產權，該公司特別強調，其濾波器定位中高端，模組內濾波器可以支持到5G NR頻段，且公司一直致力於新產品研發，也努力在為國產芯片替代盡職盡責。
消息一出，富滿微5個交易日最大漲幅已達到約30%，在近期大盤走勢襯托下，顯得異常“惹眼”。
富滿微的強勢表現，源於資本市場乃至普通公眾對5G射頻芯片國產替代的迫切期待。
BAW濾波器“正面突圍”
除了富滿微之外，本月證監會準予科創板IPO註冊的唯捷創芯，同樣已切入手機5G射頻芯片市場，並已實現向主流手機及ODM廠商批量供貨，連同已進入上市輔導階段的慧智微等企業，國內5G射頻芯片在技術、商業與資本市場上的突破，似乎已呼之欲出。
5G射頻芯片解下“卡脖子”的絞索，離不開其核心部件-濾波器的突圍。
濾波器是5G射頻前端的核心部件之一，從價值鏈上也不難看到這一點，據統計，在目前全球150億美元左右的射頻器件市場中，濾波器就占據81億美元的體量。
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目前，中高端濾波器主要可分為聲表面波(SAW)與體波(BAW)兩種技術路線，SAW濾波器市場主要由日本村田統治，BAW濾波器市場則由博通、Skyworks、Qorvo、高通等美國企業所壟斷，中國企業占比微乎其微。
上述濾波器產業格局，除了歐美企業憑借先發優勢構造的專利和商務壁壘等原因，很大程度上還源於濾波器微機電器件在結構設計、工藝參數、襯底/薄膜材料等各個環節的技術壁壘，後來者需要突破寬槽犧牲層材料平坦化、超薄片減薄拋光、高精度/高取向度和高均勻性壓電薄膜制備等多種MEMS特殊制造技術，掌握有關壓電薄膜膜層結構、厚度及應力、摻雜元素及比例等一系列專有工藝參數，否則難以實現大規模量產，或產品批次一致性難以達標。
【芯觀點】5G射頻芯片，“卡脖子”的絞索正被斬斷
需要強調的是，由於BAW濾波器具有頻率高帶寬大、插入損耗小、帶外衰減大等優點，同時對溫度變化不敏感，因而在5G高頻頻段應用中有明顯優勢，5G射頻芯片的國產替代，BAW濾波器也順理成章成為突圍“主戰場”。
武漢敏聲，這家據稱已得到H打頭電子巨頭1300萬研發經費資助的MEMS企業，是這場突圍的典型樣本：
在工藝技術上，2021年8月，武漢敏聲全球最大MEMS代工廠Silex母公司-北京賽微電子股份有限公司達成合作協議，在後者北京Fab3工廠共同投入工藝裝備，分工合作，建立國內領先的8英寸射頻濾波器生產線，並預計到2022年底，北京產線將實現通線並達到約2000片/月產能。
在器件設計上，根據機構調研所獲得的信息，敏聲已掌握一百多件技術專利，可繞過博通專利壁壘，在5G頻段BAW的主流構型-FBAR上，“技術與AVAGO（博通）相當”。
在材料創新上，武漢敏聲近日宣布，已在國內率先打通高鈧摻雜氮化鋁全流程工藝，堪稱突破了BAW濾波器最大難點。
【芯觀點】5G射頻芯片，“卡脖子”的絞索正被斬斷
高頻BAW濾波器依賴的核心材料，是摻雜稀土元素鈧的氮化鋁薄膜，即鋁鈧氮（AlScN）材料，但低鈧摻雜相關技術被美國企業所壟斷，加之其可被應用於高性能軍用濾波器，因此美國對該材料出口實施了長達十多年的封鎖，國內發展十分滯後，某種程度上可以說，氮化鋁材料體系，是美國能夠在高端5G射頻芯片上“卡脖子”的最關鍵一環。
【芯觀點】5G射頻芯片，“卡脖子”的絞索正被斬斷
事實上，敏聲的突破並非孤軍奮戰，根據集微網了解，隨著國內產學研各類機構的共同努力，我國氮化鋁材料體系現已取得整體性突破。
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稍早前的2021年，初創企業奧趨光電就已向市場推出了自主研發的藍寶石基鋁鈧氮薄膜模板產品，公司創始人吳亮介紹稱，正在與中國幾家技術領先的下遊企業進行合作，計劃逐步實現高性能的5G FBAR/BAW/SAW濾波器制造。
在日前舉辦的一次MEMS創新發展與應用研討會上，吳亮進一步分享了該公司在氮化鋁與鋁鈧氮（AlScN）材料制備上的突破，據吳亮介紹，其公司已成功開發出全球最大直徑的60mm氮化鋁單晶晶圓並實現小批量量產，同時實現了2英寸/4英寸/6英寸氮化鋁/鋁鈧氮薄膜模板大批量制備，該公司氮化鋁晶圓實現國產化後，大幅降低了國內下遊濾波器器件與方案商的研發成本。
摻入稀土元素鈧的鋁鈧氮材料，可以大幅改善氮化鋁品質因子、耦合因子等壓電性能，不過鈧的沈積摻雜，特別是高鈧濃度摻雜工藝目前仍未成熟，鈧的含量提高後，薄膜生長過程中容易出現從纖鋅礦結構到立方晶系鹽石結構的相變，薄膜晶相的穩定性難以控制。
在這一領域，奧趨已走在了全球前沿，吳亮稱，高通與德國高校合作試制的鋁鈧氮薄膜，材料性能還不及奧趨已經發布的藍寶石基與矽基鋁鈧氮產品。
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